Anwendung von Siliziumkarbid in der Halbleiterindustrie
Siliziumkarbid (SIC) wird auch Schmirgelsand genannt. Er wird aus Quarzsand, Petrolkoks, Holzspänen, Salz und anderen Rohstoffen hergestellt. Tatsächlich wurde Siliziumkarbid schon vor langer Zeit entdeckt.
Es besitzt die folgenden Vorteile: hohe Wärmeleitfähigkeit, kleiner Wärmeausdehnungskoeffizient, gute Abriebfestigkeit, hohe Härte (Mo-Härte beträgt 9,4, zweitgrößte nach dem härtesten Diamanten der Welt (Stufe 10)), ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, starke antioxidative Kapazität bei hohen Temperaturen, usw.
Die Kette der Siliziumkarbid-Halbleiterindustrie umfasst hauptsächlich die folgenden Glieder:
1. hochreines Siliziumkarbidpulver
2.Einkristallsubstrat,
3.Erweiterung
4.Power-Gerät
5-Modul-Verpackung
6.Terminalanwendung.