Anwendung von Siliziumkarbid in der Halbleiterindustrie
Siliziumkarbid (SIC) wird auch Schmirgelsand genannt. Es wird aus Quarzsand, Petrolkoks, Holzspänen, Salz und anderen Rohstoffen hergestellt. Tatsächlich wurde Siliziumkarbid schon vor langer Zeit entdeckt.
Es weist die folgenden Vorteile auf: Hohe Wärmeleitfähigkeit, kleiner Wärmeausdehnungskoeffizient, gute Abriebfestigkeit, hohe Härte (die Härte von Mo beträgt 9,4 und ist damit nur noch übertroffen vom härtesten Diamanten der Welt (Stufe 10)), ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, starke antioxidative Kapazität bei hohen Temperaturen usw.
Die Siliziumkarbid-Halbleiter-Industriekette umfasst hauptsächlich die folgenden Glieder:
1. Siliziumkarbid hochreines Pulver
2. Einkristallsubstrat,
3.Erweiterung
4.Stromversorgungsgerät
5Modul Verpackung
6.Terminalanwendung.